手动隔绝真空阀门适用于初步或者前端系统中。大部分应用于连接排气系统,在这过程中有可能会污染到腔体本身。
阀体特殊设计可以更安全,而且当帮浦倒流时可以保护腔体本身。真空隔绝阀本身是使用焊式波纹管,将阀体缩小优化,提供更佳的传导性。
轮转式手动角阀,超高真空,CF法兰
Catalogue PN
Tube OD
A
B
C
MAV-UHV-CF-133
3/4”
41
60
124
MAV-UHV-CF-133-1
3/4”
55
60
139
MAV-UHV-CF-275
1-1 /2”
63
60
162
MAV-UHV-CF-275-1
1-1 /2”
67
60
193
轮转式手动Y型阀,超高真空,CF法兰
Catalogue PN
Tube OD
A
B
MIV-UHV-CF-133
3/4”
119
100
MIV-UHV-CF-275
1-1 /2”
133
123
轮转式手动角阀,高真空,CF法兰
Catalogue PN
Tube OD
A
B
C
MAV-HV-CF-133
3/4”
41
60
124
MAV-HV-CF-133-1
3/4”
55
60
138
MAV-HV-CF-212
1”
50
60
131
MAV-HV-CF-212-1
1”
53
60
133
MAV-HV-CF-275
1-1 /2”
63
60
162
MAV-HV-CF-275-1
1-1 /2”
67
67
165
MAV-HV-CF-338
2”
72
60
193
MAV-HV-CF-338-1
2”
78
78
199
轮转式手动Y型阀,高真空,CF法兰
Catalogue PN
Tube OD
A
B
MIV-HV-CF-133
3/4”
119
100
MIV-HV-CF-212
1”
107
97
MIV-HV-CF-275
1-1 /2”
133
123
MIV-HV-CF-338
2”
182
152
轮转式手动角阀,高真空,KF法兰
Catalogue PN
Tube OD
A
B
C
MAV-HV-KF-16
3/4”
40
60
123
MAV-HV-KF-16-1
3/4”
55
60
138
MAV-HV-KF-25
1”
50
60
130
MAV-HV-KF-25-1
1”
52
60
132
MAV-HV-KF-40
1-1 /2”
65
60
164
MAV-HV-KF-50
2”
70
60
191
MAV-HV-KF-50-1
2”
76
60
198
轮转式手动Y型阀,高真空,KF法兰
Catalogue PN
Tube OD
A
B
MIV-HV-KF-16
3/4”
102
100
MIV-HV-KF-25
1”
107
97
MIV-HV-KF-40
1-1 /2”
130
123
MIV-HV-KF-50
2”
178
152
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手动隔绝真空阀门
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